NEMS

研究者们成功展示了一种可扩展的、高产量的石墨烯悬空膜制造技术，适用于大面积和工业级应用。通过神经网络自动评估产量，以及将这些技术应用于基于石墨烯的NEMS压力传感器，证明了该技术的实用性和有效性。

作者通过一种简单、可靠的制造工艺，制作了石墨烯泡沫器件。用静电激发这些器件，并分析它们的共振和衰荡响应。实验观察到显著的能量耗散，器件的品质因子在几十的数量级。此外，作者研究了温度对器件工作的影响，发现高温会使谐振器机械软化，但也会显著提高能量耗散。最后，作者演示了共振模式和两倍频率模式的模式耦合。因此，这项工作为开发新型石墨烯泡沫谐振器铺平了道路，该谐振器可以集成到未来的器件中，例如基于石墨烯泡沫的纳米机电传感器、电路和振荡器。