MEMS

  • ACS Nano:大面积高产量石墨烯悬空膜的制备及其在传感器中的应用!!

    研究者们成功展示了一种可扩展的、高产量的石墨烯悬空膜制造技术,适用于大面积和工业级应用。通过神经网络自动评估产量,以及将这些技术应用于基于石墨烯的NEMS压力传感器,证明了该技术的实用性和有效性。

    2024年9月10日 科研进展
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  • 【研究进展】法向载荷对石墨烯在不锈钢基体上纳米摩擦行为的影响:对纳米级润滑的影响

    对不锈钢基体石墨烯在不同法向载荷下的纳米摩擦进行了实验研究。基于实验数据,对石墨烯在不锈钢基底上的纳米摩擦进行了原子尺度模拟。研究了法向载荷变化时不锈钢基体石墨烯凸起区的摩擦特性。分析了石墨烯凸起区摩擦力的主要来源,建立了不同来源摩擦力与法向载荷的关系。石墨烯凸起区摩擦力上升的过程分为两个阶段,研究了摩擦力上升的两个阶段与法向载荷的关系,揭示了法向载荷引起摩擦力上升的机理。

    2024年4月30日
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  • Nano Res.│石墨烯泡沫谐振器

    作者通过一种简单、可靠的制造工艺,制作了石墨烯泡沫器件。用静电激发这些器件,并分析它们的共振和衰荡响应。实验观察到显著的能量耗散,器件的品质因子在几十的数量级。此外,作者研究了温度对器件工作的影响,发现高温会使谐振器机械软化,但也会显著提高能量耗散。最后,作者演示了共振模式和两倍频率模式的模式耦合。因此,这项工作为开发新型石墨烯泡沫谐振器铺平了道路,该谐振器可以集成到未来的器件中,例如基于石墨烯泡沫的纳米机电传感器、电路和振荡器。

    2021年7月5日 科研进展
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