麦克风
-
代尔夫特理工大学Vollebregt团队：高灵敏度、晶圆级的无转移石墨烯MEMS电容麦克风 | MINE推荐
与传统的硅振膜不同，石墨烯能够检测微小声音，可能导致更高的信噪比。这是因为输入到相关集成电路（ASIC）的信号高，且在放大过程中增加的任何噪声由于放大幅度较低而可以进一步减轻。这一优势还允许减小尺寸，使得能够生产更小的MEMS麦克风而不降低性能——开创了紧凑而强大声学设备的新时代。此外，尽管张力和刚度低，但提出的多层石墨烯振膜具有与现有ASIC技术兼容的拉入电压。这表明其未来集成到当前批量生产制造中的积极前景。
-
灵敏的石墨烯麦克风：Sensitive Transfer-Free Wafer-Scale Graphene Microphones
通过这项工作，我们展示了一种实现与大批量制造兼容的晶圆级多层石墨烯膜的无转移方法。因此，在很大程度上规避了基于转移的石墨烯麦克风制造方法的局限性，例如聚合物污染、裂纹形成、起皱、折叠、分层和低张力再现性，为石墨烯麦克风的大批量生产迈出了重要一步.
