范绪阁
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综述：基于石墨烯的MEMS和NEMS器件及其应用研究
首要挑战是悬浮石墨烯结构的制备良率较低，特别是在制备悬浮单层石墨烯结构时，产率普遍不高。为提高悬浮石墨烯的制备良率，需要持续优化CVD生长工艺，以获得晶界更少的大尺寸石墨烯晶粒。其次是器件稳定性和可靠性有待提高。为应对这一问题，需要采取有效措施保护石墨烯免受环境影响，例如使用h-BN、Si₃N₄、Al₂O₃或基于PMMA的聚合物进行封装保护。此外，在单一制程中实现多类型悬浮传感器的制备工艺开发也是一个重要挑战。其它需要解决的问题还包括高性能电子读出电路的开发、器件封装以及可靠性评估等方面。
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北理工课题组在硅基不同原子层厚度的石墨烯湿度传感特性及应用方面取得重要进展
课题组报道了硅基（SiO2/Si）不同原子层数的石墨烯的湿度传感器，研究了不同原子层数（1-3个原子层）的石墨烯、不同敏感面积的石墨烯对制备的湿度传感器响应度、响应时间/恢复时间的影响。
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我院范绪阁教授荣获“2024年MINE优秀青年科学奖”
“Microsystems & Nanoengineering 青年学术沙龙”是2017年由Microsystems & Nanoengineering发起的年度学术交流和评选活动，旨在表彰和发现全球范围内活跃在科学与前沿领域并做出突出贡献的青年科学家。范绪阁教授受邀参会并做题为“基于双原子层石墨烯悬浮质量块的NEMS加速度传感器”的学术报告。
