芯片
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石墨烯电子材料在上海中试成功,推动我国碳基集成电路技术加速发展
为了让这类材料尽快产业化,中科院上海微系统所与上海市石墨烯产业技术功能型平台合作,已建成一个具有中试放大功能的创新实验室。目前,这个实验室实现了8英寸石墨烯单晶晶圆、锗基石墨烯晶圆、超平铜镍合金单晶晶圆等新材料的小批量生产,为国产新一代电子器件的研发奠定了基础。
为了让这类材料尽快产业化,中科院上海微系统所与上海市石墨烯产业技术功能型平台合作,已建成一个具有中试放大功能的创新实验室。目前,这个实验室实现了8英寸石墨烯单晶晶圆、锗基石墨烯晶圆、超平铜镍合金单晶晶圆等新材料的小批量生产,为国产新一代电子器件的研发奠定了基础。
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