考纳斯理工大学

研究通过电感耦合等离子体束源在没有任何催化剂的情况下直接在 Si(100) 衬底上合成多晶石墨烯。研究了等离子体功率、甲烷气体流量、氢气流量、温度和时间对石墨烯层数和薄片尺寸、缺陷密度和表面形态的影响。考虑了普遍存在的缺陷类型。