李成

本文，提出一种基于波纹氧化石墨烯振膜的超高灵敏度光纤麦克风，由于在GO振膜中引入了波纹结构，所制成的F-P声传感器具有高的SM (43.70 nm/Pa@ 17 kHz)，平坦的频率响应(在300 – 3500 Hz范围内- 3.2至3.7 dB)和高信噪比(76.66 dB@1 kHz)。此外，还测试了其他非凡的声传感性能，包括高时间稳定性(90分钟6.7%)和出色的频率检测分辨率(0.01 Hz)。此外，通过将基于波纹氧化石墨烯隔膜的F-P声传感器与152层残差CNN模型相结合，整体识别准确率达到98.4%，高于商用麦克风。这些结果表明，基于波纹氧化石墨烯隔膜的F-P声传感器在弱声传感和语音识别方面具有应用潜力。

本文首次报道了MOEMS石墨烯谐振压力传感器，其特点是通过阳极键合实现了10-3Pa的真空封装，大大降低了压力差下基底和石墨烯之间高空气阻尼和气体渗透造成的能量损失。总的来说，所提出的传感器为提高信噪比和实现二维材料谐振传感器的可靠使用提供了一个有前途的解决方案。