晶圆

推动共性技术研发，支撑上海产业链创新，是功能型平台的重要功能。5年来，平台机构取得了一大批共性技术成果，如石墨烯平台与中国科学院上海微系统研究所等联合研发的8英寸石墨烯晶圆已进入中试制备技术开发阶段，4英寸和6英寸晶圆产品已与下游企业签订销售订单，为集成电路产业提供了新一代材料。

为了让这类材料尽快产业化，中科院上海微系统所与上海市石墨烯产业技术功能型平台合作，已建成一个具有中试放大功能的创新实验室。目前，这个实验室实现了8英寸石墨烯单晶晶圆、锗基石墨烯晶圆、超平铜镍合金单晶晶圆等新材料的小批量生产，为国产新一代电子器件的研发奠定了基础。