新维度
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苏州新维度微纳科技申请基于纳米压印的石墨烯转移方法专利,基于纳米压印实现大面积石墨烯层转移
本发明通过微纳结构层增加微纳结构层与光刻胶层之间的接触面积,进而增加了有机层与光刻胶层之间的结合力,本发明基于纳米压印实现大面积石墨烯层转移,且保证了转移质量。
本发明通过微纳结构层增加微纳结构层与光刻胶层之间的接触面积,进而增加了有机层与光刻胶层之间的结合力,本发明基于纳米压印实现大面积石墨烯层转移,且保证了转移质量。
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