张甲
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哈工大牵头的国家重点研发计划“基于局域化应力调控石墨烯/六方氮化硼/石墨烯垂直异质结电子隧穿行为的高精度气压传感器”项目启动
项目拟基于石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结,构筑新型垂直隧穿型气压传感器,建立大气压力—异质结内应力—隧穿电流变化之间的关系模型,从而实现气压分辨力较现有最高值提高一个数量级的目标。此外,通过石墨烯异质结薄膜的无损转移、基于AFM热探针的图案化干净界面电极的制备、红外光界面纯净化方法等手段,有效提升传感信号质量和器件的响应速度。
项目拟基于石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结,构筑新型垂直隧穿型气压传感器,建立大气压力—异质结内应力—隧穿电流变化之间的关系模型,从而实现气压分辨力较现有最高值提高一个数量级的目标。此外,通过石墨烯异质结薄膜的无损转移、基于AFM热探针的图案化干净界面电极的制备、红外光界面纯净化方法等手段,有效提升传感信号质量和器件的响应速度。
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