刘渊
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Nature Electronics | 三维凸起接触下的二维晶体管!
结合国内外行业发展状况提出了一种新的解决方案,即采用范德华剥离技术制备具有三维凸起接触的单层2D晶体管。这一技术的核心思想是通过在多层2D通道的顶部堆叠平坦金属层,然后在剥离金属时逐层剥离2D层,从而实现对底部2D通道的原子层精度的受控剥离。
结合国内外行业发展状况提出了一种新的解决方案,即采用范德华剥离技术制备具有三维凸起接触的单层2D晶体管。这一技术的核心思想是通过在多层2D通道的顶部堆叠平坦金属层,然后在剥离金属时逐层剥离2D层,从而实现对底部2D通道的原子层精度的受控剥离。
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