刘子玉
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清华大学任天令/田禾等综述:基于二维材料的器件及芯片技术发展路线
首先详细介绍了材料合成技术和包括器件结构、介电和接触工程以及材料转移在内的晶体管制造工艺。然后讨论了典型芯片领域的二维晶体管应用现状,包括数字和模拟电路、异构集成芯片和传感电路。此外,还介绍了基于特定机制器件的几种有前景的新兴应用方向(人工智能芯片和量子芯片)。最后,分析了二维材料在实现电路级或系统级应用时遇到的挑战,并进一步推测和展望了潜在的发展路线。
首先详细介绍了材料合成技术和包括器件结构、介电和接触工程以及材料转移在内的晶体管制造工艺。然后讨论了典型芯片领域的二维晶体管应用现状,包括数字和模拟电路、异构集成芯片和传感电路。此外,还介绍了基于特定机制器件的几种有前景的新兴应用方向(人工智能芯片和量子芯片)。最后,分析了二维材料在实现电路级或系统级应用时遇到的挑战,并进一步推测和展望了潜在的发展路线。
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