冯蔚东

CVD（化学气相沉积）法生产石墨烯是将碳原子沉积在特定基体上的一种生产单层石墨烯方法，但其具有转移步骤成本高，导电率低的缺点。硅晶圆悬浮石墨烯技术是通过传统半导体工艺，形成上表面为单层石墨烯薄膜的悬浮腔体阵列，最终形成硅晶圆表面的悬浮石墨烯阵列。