MEMS

  • 灵敏的石墨烯麦克风:Sensitive Transfer-Free Wafer-Scale Graphene Microphones

    通过这项工作,我们展示了一种实现与大批量制造兼容的晶圆级多层石墨烯膜的无转移方法。因此,在很大程度上规避了基于转移的石墨烯麦克风制造方法的局限性,例如聚合物污染、裂纹形成、起皱、折叠、分层和低张力再现性,为石墨烯麦克风的大批量生产迈出了重要一步.

    2022年6月14日
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  • Nano Res.│石墨烯泡沫谐振器

    作者通过一种简单、可靠的制造工艺,制作了石墨烯泡沫器件。用静电激发这些器件,并分析它们的共振和衰荡响应。实验观察到显著的能量耗散,器件的品质因子在几十的数量级。此外,作者研究了温度对器件工作的影响,发现高温会使谐振器机械软化,但也会显著提高能量耗散。最后,作者演示了共振模式和两倍频率模式的模式耦合。因此,这项工作为开发新型石墨烯泡沫谐振器铺平了道路,该谐振器可以集成到未来的器件中,例如基于石墨烯泡沫的纳米机电传感器、电路和振荡器。

    2021年7月5日 科研进展
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  • 上海交大研发用于非接触式人机交互的MEMS湿度传感器

    该研究通过静电纺丝和超声共融工艺,提出一种基于多层石墨烯超声修饰静电纺丝柔性尼龙(PA)66的电阻型湿度敏感体系,一方面通过纳米纤维网络的结构设计增强了基底的毛细作用,另一方面巧妙利用PA66本身分子结构中大量的酰胺键易与水分子形成氢键作用的机理,使得复合材料极易“吸水变形膨胀”,从而造成导电网络变化,实现柔性湿度敏感。得益于出色的适型性与灵活性,传感器可以承受剧烈变形且轻易地改变自身形态,从而达到在更苛刻的环境中以任何形态正常工作并准确识别各种湿度变化的目的。

    2021年3月16日 科研进展
    2.3K00
  • 传统MEMS器件寻突破,石墨烯助力性能大幅提升

    NanoGraM项目为未来的潜在应用重点关注的三类特定器件包括:石墨烯麦克风、石墨烯膜压力传感器和石墨烯膜霍尔传感器。

    2018年9月11日 产业新闻
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