MEMS
-
综述：基于石墨烯的MEMS和NEMS器件及其应用研究
首要挑战是悬浮石墨烯结构的制备良率较低，特别是在制备悬浮单层石墨烯结构时，产率普遍不高。为提高悬浮石墨烯的制备良率，需要持续优化CVD生长工艺，以获得晶界更少的大尺寸石墨烯晶粒。其次是器件稳定性和可靠性有待提高。为应对这一问题，需要采取有效措施保护石墨烯免受环境影响，例如使用h-BN、Si₃N₄、Al₂O₃或基于PMMA的聚合物进行封装保护。此外，在单一制程中实现多类型悬浮传感器的制备工艺开发也是一个重要挑战。其它需要解决的问题还包括高性能电子读出电路的开发、器件封装以及可靠性评估等方面。
-
抓住风口！这两家企业入驻闵行——
“传感创芯，堇无止境”是团队坚守不渝的创业追求，更是推动公司持续稳健发展的核心动力源泉。未来，上海润堇科技有限公司将深耕莘庄工业区，拓展超声波传感器和力矩传感器业务，设立石墨烯研发中心，加速与园区汽车零部件、生物医药、商业航天产业链融合，挖掘更多市场需求，以技术研发创新带动产业开花结果。
-
嵌入氧化石墨烯纳米片，增强PVDF纳米纤维的压电特性
GO可作为成核剂，诱导形成具有电活性的β相和γ相，并形成导电通路，从而增强压电能量收集。研究人员研究了与最高压电性能对应的最佳GO浓度。在PVDF聚合物中加入不同浓度的GO，制备PVDF-GO静电纺丝纳米纤维。研究了所制得纳米纤维的形态和结构特征，测试了纳米纤维垫的机械稳定性，并获得了所制得纳米纤维垫的应力-应变曲线。通过冲击测试、d₃₃、电容充电和Sawyer-Tower电路等测试，对纳米纤维的压电性能进行了全面检测。
-
代尔夫特理工大学Vollebregt团队：高灵敏度、晶圆级的无转移石墨烯MEMS电容麦克风 | MINE推荐
与传统的硅振膜不同，石墨烯能够检测微小声音，可能导致更高的信噪比。这是因为输入到相关集成电路（ASIC）的信号高，且在放大过程中增加的任何噪声由于放大幅度较低而可以进一步减轻。这一优势还允许减小尺寸，使得能够生产更小的MEMS麦克风而不降低性能——开创了紧凑而强大声学设备的新时代。此外，尽管张力和刚度低，但提出的多层石墨烯振膜具有与现有ASIC技术兼容的拉入电压。这表明其未来集成到当前批量生产制造中的积极前景。
-
芯动联科：公司主营产品为高性能MEMS惯性传感器和高性能MEMS压力传感器，未涉及NEMS和石墨烯传感器
有投资者在互动平台向芯动联科提问：贵公司是否已经布局NEMS传感器，还有下一代石墨烯传感器？
-
北京理工大学Xuge Fan、洛桑联邦理工学院和英国皇家理工学院–用于NEMS传感器的由石墨烯带和附加验证质量组成的谐振换能器
我们展示了由双层石墨烯制成的带弹簧和由硅制成的验证质量的谐振换能器，并通过激光多普勒振动测量法研究了它们在空气和真空中谐振时的非线性力学。
-
北航《ACS AMI》：高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器
本文首次报道了MOEMS石墨烯谐振压力传感器，其特点是通过阳极键合实现了10-3Pa的真空封装，大大降低了压力差下基底和石墨烯之间高空气阻尼和气体渗透造成的能量损失。总的来说，所提出的传感器为提高信噪比和实现二维材料谐振传感器的可靠使用提供了一个有前途的解决方案。
-
用二维材料解锁超越摩尔的世界
事实上，传感器是一个关键的发展领域，因为就其性质而言，传感器往往在代工厂生产，这些代工厂已经过渡到MEMS等BEOL技术，并且具有易于适应平面化2D层的工艺。
-
年轻的石墨烯研究人员聚焦：与Roberto Pezone的问答
在石墨烯旗舰的工作包6（核心3）中，我的主要重点是将石墨烯集成到传感器中，特别是麦克风。我的主要目标是开发能够在晶圆尺度上无缝集成石墨烯的方法，同时彻底探索与这些方法相关的优缺点。除了开发制造技术外，我还对表征石墨烯在声学器件中的潜力非常感兴趣。这种类型的研究在弥合石墨烯的卓越性能与其在行业中的实际应用之间的差距，解锁更高的性能和新的传感器概念方面发挥着至关重要的作用。
-
Anartz Unamuno博士加入Graphenea担任高级顾问
在这个职位上，Anartz将在Graphenea的制造业业务发展中发挥重要作用。他在半导体行业拥有超过20年的工作经验，包括研究机构、两家成功退出的初创公司和两家大型半导体制造公司。他曾在工程、项目管理和高级管理层任职。Anartz专注于用于批量生产的MEMS产品和技术。目前，他为深度科技初创公司提供技术、战略和筹款主题方面的建议。
-
曼彻斯特大学–用Föppl–von Kármán方程模拟石墨烯-聚合物异质结构MEMS膜
通过原子力显微镜形貌图获得的实验GPH膜形状与基于FvK的有限元方法模拟预测的膨胀形状进行了比较，它们彼此之间显示出极好的一致性。当在电容式压力传感器配置中GPH膜在压力下偏转时，通过准确预测偏转GPH膜装置在变化压力下的电容变化，进一步证明了该模型的有效性。
-
格罗宁根大学AFM封面论文 : 利用3D 打印石墨烯压阻式传感器解释波浪状海豹胡须的超灵敏尾迹跟踪能力
在这项工作中，作者开发了一款具备波浪状海豹胡须结构的3D 打印石墨烯压阻式 MEMS 传感器，以解释海豹胡须结构对涡流的灵敏性。这些传感器还被用于测量两类海豹胡须，包括斑海豹和灰海豹胡须的固有频率。测量结果表明所设计的传感器具备替代高成本的激光多普勒测速仪对毫米级胡须的固有频率进行测量的潜力。此外，测量所得的胡须固有频率频率范围与常见鱼类尾涡的脱落频率相当。一系列的有限元仿真结果也被用于实验测量结果进行相互验证。
-
魏洋、李群庆研究组在石墨烯微加热芯片研究中取得进展
他们将二维石墨烯材料代替传统的金属电阻加热器，大幅提升了原位加热芯片的性能。该加热芯片可在26.31 ms内加热至800 ℃，功耗仅为0.025 mW/1000 μm2。同时，在加热至650℃时，芯片因加热产生的形变仅约为50 nm，相比传统的金属加热芯片，该形变降低了约两个数量级，有效解决了在加热过程中芯片观察窗口因受热形变引发的失焦问题。
-
格罗宁根大学《AFM》封面：受海豹胡须启发的3D打印石墨烯传感器
这些传感器还用于测量切除港（Phoca vitulina）和灰色（Halichoerus grypus）海豹晶须的自然频率，并确定晶须方向对VIV的影响，这可以解释在主动狩猎期间胡须的可能自然取向。在循环水槽中进行的实验研究表明，受晶须启发的传感器通过锁定尾流发生器的频率，成功地感测了位于晶须直径10×的上游尾流，从而模拟了密封晶须的传感机制。VIV降低和频率锁定与上游尾流发生器的结合证明了晶须启发传感器的高信噪比，表明其在长距离尾流传感方面的效率以及其作为水下机器人中视觉和声学传感器替代品的潜力。
-
用于超高分辨率超快速石墨烯显示器的MEGAMORPH项目
MEGAMORPH跟进GIMOD项目，该项目通过吸引阶段1实施。第2阶段侧重于上市战略，评估套件使众多客户能够使用该技术。该联盟由创新领导者组成，反映了该项目的市场驱动性质：SCALE纳米技术，石墨烯，形态电子，TNO，CIN能和VividQ。
