化学气相沉积

  • Nano Res.│石墨烯转移技术—方法、挑战和未来展望

    苏州大学Mark H. Rummeli团队在Nano Research上发表综述文章,从对污染控制和成品石墨烯结构完整性保护的角度,综述了一系列目前石墨烯转移技术。此外,还讨论了它们的可扩展性、成本效益和时间效益,总结了石墨烯技术的转移挑战、替代选择和未来发展前景。

    2021年4月28日 科研进展
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  • 以石墨烯为例,谈谈化学气相沉积法

    化学气相沉积(CVD)是一种生产高质量固体薄膜和涂层的强大技术。尽管已广泛用于现代工业中,但由于它已适应新材料,因此仍正在不断发展中。如今,通过精确制造2D材料的无机薄膜和可以共形沉积在各种基材上的高纯度聚合物薄膜,CVD合成技术正被推向新的高度。

    2021年3月31日 研报资料
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  • Acc. Chem. Res.:用于二维材料的等离子体增强化学气相沉积

    中科院化学研究所刘云圻院士,中科院重庆绿色智能技术研究院魏大鹏研究员,复旦大学魏大程研究员总结了利用PECVD可控制备2D材料及其应用方面的最新研究进展。

    2021年2月5日
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  • 院士论文被质疑造假!这篇Nature Nano.通讯作者为ACS Nano副主编,刚发表不到半年!

    单层石墨烯的堆叠,以精准构造多层石墨烯,为石墨烯带来了许多特殊的性质。魔角石墨烯就是一个典型的例子。然而,实现多层石墨烯的层数和堆叠顺序的精准控制,依然是一种挑战。

    2020年12月10日 科研进展
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  • 龙岩市两个创业项目在第四届“中国创翼” 创新创业大赛全国总决赛中获奖

    福建闽烯科技有限公司的“石墨烯薄膜及应用产品制备”获全国“创翼之星”称号。我市项目首次入围国赛即获得奖项。

    2020年11月19日
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  • 铜上的单层石墨烯

    首先,我们通过 CVD 在铜箔上生长单层石墨烯,然后使用镍或钴对薄膜进行金属化。接着,我们在金属薄膜上贴上热剥离胶带,将两种表面结构从铜箔上剥离。底层铜膜现在可以重新用于后续的石墨烯生长。通过与 PET 薄膜层压来去除剥离带,然后将金属化石墨烯放入蚀刻液中或留在石墨烯上进行后续图案化,最终在临时 PET 表面形成单层石墨烯结构。

    产业新闻 2020年7月27日
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  • LG电子开始提供CVD石墨烯材料

    LG电子除了为其石墨烯开发了特定的质量控制系统外,还开发了自己的卷对卷生产工艺。LG表示,其检测系统可以将石墨烯晶体尺寸、缺陷和电性能的均匀性偏差控制在10%以内。

    2019年9月13日
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  • 福建闽烯科技有限公司

    公司已掌握化学气相沉积法CVD制备石墨烯薄膜技术,致力于研发和生产大面积高品质石墨烯薄膜以及石墨烯应用产品。闽烯科技长期跟踪和研究石墨烯领域的发展趋势和国际最新技术,对国内外的技术水平有非常精准的把握,在石墨烯CVD制备技术及应用领域已经处在国际领先水平。闽烯科技正致力于成为全世界一流的石墨烯企业,为科技和产业发展提供无限可能。

    2019年7月10日
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  • CVD生长晶圆用石墨烯的概述

    在这篇博文中,Grolltex 将更详细地探讨 CVD 生成晶圆用石墨烯。

    产业新闻 2019年3月7日
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  • Science | 畴区自校准融合制备晶圆级单晶六方氮化硼(hBN)

    作者认为不同的圆形单晶畴区之间会因为库伦相互作用(路易斯酸B与路易斯碱N)而导致畴区旋转,这种神奇的运动要一直持续到畴区边缘找到合适的拼接晶向并无缝拼接才会停止,进从而形成整张单晶薄膜。

    2019年2月2日 科研进展
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  • 【项目推介】年产10万平方米石墨烯薄膜项目

    石墨烯薄膜是由单层或多层石墨烯构成的薄膜,可细分为单晶薄膜和多晶薄膜。单晶薄膜可用于制造集成电路,但目前尚未成功开发出单晶薄膜的工业化合成方法;多晶薄膜则有望在3-5年时间内实现产业化应用,可替代氧化铟锡(ITO)导电玻璃用于制造触摸屏。

    2018年12月19日
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  • 北京大学刘忠范院士课题组和彭海琳教授课题组发文介绍石墨烯化学气相沉积制备方法

    针对高品质石墨烯薄膜的CVD制备与具体应用,课题组建立和发展了石墨烯单晶和薄膜的结构精确调控的多种CVD生长方法,并率先实现了4英寸无褶皱石墨烯单晶晶圆、大面积石墨烯薄膜的连续批量制备和绿色无损转移,研制了超级石墨烯玻璃、旋转双层石墨烯光电器件和单晶石墨烯PN结光电探测器件。

    2018年10月15日
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  • 【制备专栏】化学气相沉积(CVD)技术梳理

    CVD和PVD之间的区别主要是,CVD沉积过程要发生化学反应,属于气相化学生长过程,其具体是指利用气态或者蒸汽态的物质在固体表面上发生化学反应继而生成固态沉积物的工艺过程。简而言之,即通过将多种气体原料导入到反应室内,使其相互间发生化学反应生成新材料,最后沉积到基片体表面的过程。

    研报资料 2018年3月4日
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  • 德国莱布尼茨固态与材料所ACS Nano:(半导体工艺兼容的)在氧化硅绝缘基底上直接生长的大面积均匀单层石墨烯

    第一作者逄金波博士等利用10页正文和33页支撑材料的篇幅,向二维材料的研究人员和其他读者展示一个三明治结构的样品放置方式,来精确控制气源的引入,在绝缘基底上,实现石墨烯单层薄膜的自限制生长过程。本文系统地研究生长过程中的生长机理、时间依存以及晶畴长大过程中的融合成膜以及晶界的形成过程。

    2018年2月10日 科研进展
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  • 绝对干货丨CVD法制备石墨烯的工艺流程详解

    化学气相沉积法最早出现在二十世纪六十年代,主要用来制备高纯度、高性能的固体薄膜。石墨烯的化学气相沉积的原理是:将一种含碳的气态物质在高温和高真空的环境下,用氢气作为还原性气体,通入到炉内,生成石墨烯。

    2018年1月16日 研报资料
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