AMO GmbH

Hemmetter 及其合作者开发的设备的一大优势是可以在柔性薄膜衬底上生产，克服了硅电子芯片的外形限制。关键在于金属绝缘体石墨烯（MIG）二极管的使用。 石墨烯的高电荷载流子迁移率和柔韧性使其能够在柔性基底上实现兼具卓越直流性能和高截止频率的器件。

Quellmalz 解释说：”我们基本上是用 BCB 树脂将两个晶片粘合在一起。”我们加热树脂，直到它变得像蜂蜜一样粘稠，然后将二维材料压在它上面”。他说，在室温下，树脂会变成固体，并在二维材料和晶片之间形成稳定的连接。”要堆叠材料，我们要重复加热和加压的步骤。树脂再次变得粘稠，就像一个垫子或水床，支撑着层堆叠，并适应新的二维材料表面。

AMO 主任 Max Lemme 教授说：”新的 ALD 工具将帮助 AMO 和亚琛石墨烯与二维材料中心将二维材料研究推向市场。事实上，ALD 工具将被集成到石墨烯旗舰项目的二维实验中试线中，这是一个重大项目，其目标是展示如何以符合工业标准的方式制造基于二维材料的电子设备。”

这项雄心勃勃的事业旨在展示如何以一种对市场应用有意义的方式制造和扩大基于二维材料的设备的生产规模。这是石墨烯技术转入全面生产之前的关键一步，从某种意义上说，也是对石墨烯能否兑现其电子应用 “神奇材料 “承诺的终极考验。

其策略是利用胶体量子点（CQD）形成的吸收层来光敏金属绝缘体石墨烯（MIG）二极管。当光线照射到 MIG/QD 器件上时，一部分光线会被吸收，并在 CQD 层中产生电子-空穴对。然后，这些光生载流子的一部分被转移到下层石墨烯层，并引起石墨烯化学势的移动。由于石墨烯在中性点附近的状态密度较低，这种位移可能相对较大，并导致流过二极管的电流发生巨大变化，因为这与二极管势垒的高度成指数关系。

这篇综述总结了许多研究，这些研究成功地证明了在压力传感器、传声器、质量和气体传感器中使用二维材料膜的可行性–解释了不同的传感器概念，并概述了相关的材料特性、制造工艺和工作原理。

这篇综述介绍了当前二维技术栅极绝缘体的最新进展，并讨论了进一步提高二维器件性能的策略，如创建清洁界面、从二维半导体中生产原生氧化物以及对晶体绝缘体进行更深入的研究。虽然综述的主要重点是标准二维场效应晶体管，但讨论的问题也与其他器件技术直接相关，如隧道场效应晶体管、铁电场效应晶体管、负电容晶体管和模拟场效应器件（如光电探测器和生物传感器）。

Neumaier 于 2009 年加入 AMO，担任石墨烯研究部门负责人，主要研究如何利用石墨烯和其他二维材料在微电子学和光子学中的应用。具有里程碑意义的成果包括展示了超高速硅集成光电探测器（2014 年）和最灵敏的霍尔效应传感器（2015 年），以及对基于石墨烯器件的晶圆级制造的贡献（2019 年）。自 2013 年以来，Neumaier 还是石墨烯旗舰项目电子器件工作包的负责人。