基于石墨烯的电子设备尚未广泛商业化，甚至在首次实验剥离石墨烯 20 年后仍未实现。为此，欧盟委员会正在支持建立基于石墨烯和相关二维（2D）材料的电子和光电设备欧洲实验中试线的研究，即实验中试线（2D-EPL）项目。一份新报告总结了两个多项目晶圆（MPW）运行的结果，利用电学和光谱表征技术证明了 2D-EPL 的高质量生产。
报告介绍了两次 MPW 运行：2022 年底的 MPW 运行 1 和 2023 年的 MPW 运行 3。MPW 运行 1 主要用于石墨烯传感器，特别是化学和生物传感器，而 MPW 运行 3 则侧重于石墨烯电子产品。在运行之前，与潜在客户共享了规格表，其中包括载流子迁移率、电荷中性点、薄片电阻和接触电阻率等性能参数。只有在达到目标值时，才会向客户交付制作好的晶片。除了这些与订购晶圆单芯片的客户相关的参数外，还对整个晶圆的均匀性进行了测量，因为该参数对工业流程非常重要。
潜在客户首先通过一个通用的 2D-EPL 访问页面进行注册，然后收到一个工艺设计工具包，其中包含有关可用材料、制造方法和设计规则的信息。所有客户的设计都被合并到一个共同的光刻掩模设计中，其中还包括在晶圆上均匀分布参考器件的测试模具。
两次运行共收到来自几乎各大洲潜在客户的 60 份申请，其中包括大学、初创企业、中小型企业和大型企业。应用领域包括电子设备、生物和太赫兹传感器以及光电探测器。
拉曼光谱显示石墨烯质量很高，光谱中的缺陷峰很小。值得注意的是，缺陷峰的强度在石墨烯加工前后没有变化，这表明生产过程保持了石墨烯层的高质量。此外，石墨烯的电气性能也非常出色，完全符合技术规范要求，而且制造良率非常高，MPW 运行 1 为 94%，MPW 运行 3 为 87%。
这些令人鼓舞的成果是在欧盟委员会的资助下取得的，在 2020 年至 2024 年期间，欧盟委员会共提供了 2000 万欧元的资助。2D-EPL 诞生于石墨烯旗舰项目，其目的是应对石墨烯设备制造方面的挑战，并建立第一条实验中试线，用于在晶圆规模上原型生产石墨烯和相关的基于二维材料的电子、光子和传感器。最新发表在《自然-通讯》（Nature Communications）杂志上的详细结果表明，2D-EPL 平台是一个很有前景的石墨烯设备原型生产平台，既适用于个人小客户，也适用于大型企业。在此过程中还发现了一些挑战和有待解决的问题，并在论文中进行了描述。
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