推动量子技术和医疗诊断行业发展的半导体公司 Archer Materials,通过其西班牙代工合作伙伴 Graphenea 公司的六英寸整晶圆,制造出了其 Biochip 石墨烯场效应晶体管 (gFET) 设计中的一种。
Archer 于 2023 年 12 月1 将 Biochip gFET 设计送交 Graphenea 进行整晶圆制造。gFET 的结构设计适用于液体复用,其芯片设计特点(包括栅极设计和材料)具有先进性,可应对在芯片间保持石墨烯器件稳定性的技术挑战。
此次工艺运行是在一个六英寸的整体晶片上进行的,这也是 Archer 首次在六英寸晶片上运行。这次制造生产了 145 块芯片,每块芯片上有 8 个 gFET 器件。Archer 确认 gFET 的电子性能符合预期,在所需的测试测量电压范围内观察到了所需的狄拉克点稳定性。
这一最新成果是在先前的 gFET 设计制造里程碑基础上取得的,包括与德国一家代工厂合作的多项目晶圆运行,以及在荷兰一家代工厂进行的整个四英寸晶圆运行。最近,Archer 还推进了其 Biochip gFET 芯片设计,大幅缩小了尺寸,并将小型化芯片设计送交荷兰的一家代工合作伙伴进行制造。
Archer 首席执行官 Mohammad Choucair 博士在谈到 gFET 制造时说:”Archer公司已经证明,其专门的gFET设计可以通过整个六英寸晶圆制造完成。通过进行这些类型的晶圆运行,包括在 Graphenea 的商业石墨烯代工厂进行晶圆运行,Archer 的目标是优化其 gFET 设计、性能以及与可能大规模生产 gFET 芯片所需的先进制造工艺和设备的兼容性。”
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