石墨烯被认为是一种潜在的新型电子材料,可以用来制造更快、更小、更节能的电子器件。但是,石墨烯也有一个很大的缺点,那就是它没有带隙。什么是带隙呢?简单地说,带隙是指一个材料中电子能量的一个禁区,电子不能在这个区域内存在。如果一个材料有带隙,那么它就可以通过控制电压或电流来调节电子的流动,从而实现开关或逻辑功能。石墨烯不是良导体,世界上电阻率最小的材料吗,怎么能制成半导体呢?这也正是科学家们最棘手的地方。石墨烯是由单层碳原子组成的六角型蜂巢晶格结构,也就是说是二维的,每个碳原子都会贡献一个电子出来形成大π键,这些π键电子不再受单个碳原子的约束,可以在整个平面内自由移动,所以石墨烯具有良好的导电性。
石墨烯这种由单层碳原子构成的二维材料有三大优良特性:
- 无比坚固,石墨烯的强度是钢的200倍以上;
- 载流子迁移率极高;
- 导热率极高,这意味着石墨烯可以有效地散热,防止电子器件过热。
对于电子行业而言,看起来石墨烯是一个优良无比的材料,但是石墨烯是一种无带隙材料,缺乏用于开关晶体管的关键特性。因此在过去的20年里,人们一直在努力在石墨烯中“打开一个带隙”,这是石墨烯商业化应用之前首要解决的难题。
最新的研究让石墨烯成功有了带隙,为石墨烯在半导体领域的应用开启了新的可能性。通过在SiC上的生长过程中施加特定的限制,成功展示了生长在单晶硅碳化物衬底上的半导体外延石墨烯(SEG)具有0.6 eV的带隙,并且室温迁移率超过5000 cm²V⁻¹s⁻¹,是硅的10倍,是其他二维半导体的20倍。证明了石墨烯的效率更高,允许电子以更快的速度穿过。更形象的说,这就好比“车子在碎石路上行驶与在高速公路上行驶一样”。这一成就为石墨烯在半导体领域的应用开辟了新的可能性。
那么,石墨烯究竟是如何有了带隙的呢?
石墨烯带隙的打开主要有两种方式:一种是纳米带方法,这种方法是将石墨烯切割或塑造成极其细小的纳米带。通过纳米加工技术,现在可以以接近原子级的精度制造石墨烯纳米带。在这些纳米带中,由于量子限制效应,电子被限制在一个维度上活动,从而导致带隙的打开。这种方法的挑战在于制造过程的复杂性和样品间的变异性,这使得在大规模生产上存在困难,尤其是在满足消费电子产品需求的规模上;另一种是基底相互作用法,它是利用石墨烯与其生长基底之间的相互作用来创建带隙。这种方法通常涉及选择特定的基底材料和调整生长条件,以改变石墨烯的电子性质。
最新研究所采用的方法正是第二种——在碳化硅(SiC)上生长石墨烯“缓冲层”。其实,早在2008年人们就已经知道在SiC上形成的石墨烯缓冲层可能是半导体,但获得晶圆级样品一直是一个挑战。
通过加热半导体材料碳化硅(SiC),待表面的硅原子从SiC晶体表面升华后,会留下一个富含碳的层,丰富的碳表明可以重新结晶生成具有石墨烯结构的多层,也就是说这是在SiC晶体上自发形成的石墨烯。部分石墨烯与SiC表面共价键合,这个缓冲层的光谱测量表现出半导体特征。问题来了,这个自发形成的石墨烯外延层与SiC基底的键合是无序的,导致了其迁移率极低,仅为1 cm²V⁻¹s⁻¹,与其他具有室温迁移率高达300 cm²V⁻¹s⁻¹的二维半导体相比较差得太远。利用一种准平衡退火方法可以解决这一问题。如下图b所示,通过将两个SiC芯片夹在一起,使得上层芯片的硅面与下层芯片的碳面相对,创造了一个受控环境,这样可以抑制石墨烯的生长。在1 bar的超纯氩气中,温度约1600°C,可以生长出均匀覆盖有缓冲层的大型原子级平坦台地。结果是SEG晶格不仅能与SiC基底对齐,而且它在化学、机械和热方面都非常稳定,可通过传统半导体制造技术进行图案化,并与半金属外延石墨烯无缝连接。这些基本属性使得SEG适用于纳米电子学。
石墨烯缓冲层的这一突破为“超越硅”的技术提供了新的动力,特别是在宽带隙和超宽带隙半导体领域,如电动汽车的电力电子以及航天器电子产品,SiC基底的应用潜力被进一步扩展。同时,这也推动了对于在SiC上集成不同功能设备,如传感器和计算逻辑组件的深入研究,这对于可再生能源的发展及其不稳定输入的管理至关重要。
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