国器崛起创新路 进口替代正当时——烯湾实现半导体关键材料自研突破

643亿美元，这是国际半导体产业协会(SEMI)近日发布的2021年半导体原材料全球销售额，同比增长15.9%，再度创下历史新高。其中国内2021年半导体原材料市场约为119.3亿美元，同比增21.9%。全球半导体产业继续高歌猛进的势头，欣欣向荣。

而在位于中国南端的烯湾广州黄埔生产基地内，数条建成不久的碳纳米管（CNT）复合材料生产线正开足马力满载运行。在深圳烯湾科技有限公司CEO章胜华看来，国内外半导体产业的风起云涌勿需太多挂怀，如何在疫情期间维持并提升烯湾碳基复合材料的产能，以满足强劲的客户需求，才是他现在最关切的事。“打铁还需自身硬，无论外部环境如何，只要我们踏踏实实做出了契合市场需求的好产品，企业就能立于不败之地。”

半导体领域的关键材料

烯湾所生产的，正是半导体原材料中的关键材料之一——导电/抗静电复合材料，主要用来制作半导体载具材料。半导体材料是芯片制造的基石，提到半导体材料，很多人第一时间想到的是硅片、光刻胶等晶圆制造材料，而用于晶圆、芯片储存及运输的半导体载具材料，也同样重要。“众所周知，芯片精密度高，价格昂贵且极易受到制造及使用过程中的ESD(静电放电）损坏和外部污染的影响，因此在晶圆处理和IC制造的每一个流转环节，都需要特殊的防静电载具材料进行ESD保护。”

据章胜华介绍，作为半导体生产过程中的耗材，载具必须具备抗静电、无污染、耐摩擦、高强度、高尺寸稳定性和低吸湿性等一系列优良特性，制备高可靠性的半导体载具对材料的性能要求极高。在全球范围内，日本、美国以及中国台湾的企业一直占据着半导体载具市场的主要份额。中国想要提升半导体行业的整体发展水平，半导体载具材料的国产配套支持是必不可缺的。

创新突破解决行业痛点

烯湾进行半导体载具所需导电/抗静电复合材料开发的契机，与企业的战略发展规划密不可分。“早在2020年，公司高层就结合企业的发展阶段与技术优势，将新能源、氢能源与碳基复合材料一并，列为烯湾当前的重点突破方向。”烯湾碳基复合材料事业部在这一发展战略的启发下，敏锐地发现烯湾的先进碳纳米管材料的许多特性，正与半导体载具的要求高度契合。在获得公司高层一致认可后，烯湾相关研发人员旋即展开科研攻关，历经多个日日夜夜，最终成功开发出碳纳米管改性的导电/抗静电复合材料，可完美适用于半导体载具制造。

根据不同的使用场景，半导体载具可细分为不同的产品形态，例如硅片/晶圆运输盒/包装盒、晶圆垫片、晶粒包装盒、IC托盘、半导体器件包装载带/卷盘等，主要材质包括PP、PFA、PC、ABS、PE、PS、MPPO等。“用我们烯湾自主研发的导电/抗静电复合材料所生产的半导体载具，其在具备抗静电、耐摩擦等传统半导体载具优势性能的同时，还解决了传统半导体载具碳粉析出易致产品污染、硫化物挥发导致半导体变色、导电不均匀等产业痛点。”章胜华表示，在使用烯湾导电/抗静电复合材料制造的半导体载具产品做出来后，经过多个产业链下游厂家进行测试和实际应用，结果让他们惊艳不已，客户纷纷下订单采购。

目前，烯湾已经在广州生产基地开始量产碳纳米管复合材料，其中也包括导电/抗静电复合材料，初步具备稳定的供货能力的同时，也在快速攀升产能，“订单实在太多了，我们现阶段的产能还不足以满足全部的客户需求。”据了解，烯湾正在加紧建设更多的碳纳米管复合材料产线，支持客户生产高性能的新一代半导体载具，助力从产业链源头实现半导体载具的进口材料替代。

回归材料企业初心

一代材料，一代装备，一代产业。随着全球加快数字化转型，制造业对半导体产品的需求将持续保持在高位。这对烯湾乃至整个中国的材料企业而言，都是一个难得的机遇。如何根据市场实际需求，同时结合企业优势资源，开发出叫好又叫座的的材料产品，才能真正驾驭时代的浪潮。

回归初心，方得始终。诚然，炫目的数字总能够聚焦人们的视线，但实验室里科研人员的苦心钻研，产线上操作人员的细致严谨，仓库中一袋袋整装待发的材料，才是中国半导体材料产业走向自主自强发展道路的缩影。

烯湾，已经在路上。