用创新“底色”彰显高质量发展“成色”——从等离子体炉系统点火看孝感高新区的发展路径

走进位于市高新区汉光产业园内的孝感高地石墨烯企业加速器有限公司，偌大的厂房内，若干台（套）精密仪器和自动化设备整齐排开，安静“闲置”，完全不像一个正常运营的生产厂房。但是，表面耦合诱导——二级放大等离子体炉系统近日在这里实现首次满功率点火。

“在接近大气压的工作环境下，通过表面耦合诱导等离子体源实现高离子温度的一级等离子体，再进行二级馈能放大，即可使炉系统中形成连续可控、持续稳定的等离子体，并可直接目测到氮、氩、硼等各元素的等离子体发射光谱。”高维等离子体源科技（孝感）有限公司首席科学家、中科院半导体研究所固态光源实验室特聘研究员张麟德介绍，这在常规的等离子体系统中是绝无仅有的，是一项世界领先的工作成果。

据介绍，在目前的压差水平下，可以使系统内的流量达到数升每秒的水平，从而实现工质连续输入输出的等离子体炉系统，进一步实现对应的连续镀膜、刻蚀、清洗、粉体处理等工作目标，在等离子体光源、等离子体点火、半导体工艺研发等关键应用上建立坚实的基础研究平台。不仅如此，目前的等离子体具有极高的离子温度，在垃圾焚烧处理、高能离子化学反应与各类功能材料的制备上亦有大量的应用前景。

“我们才能在短短数月之内完成这样的研究成果与对应装备，有赖于加速器公司提供的非标装备研制条件的支撑。”张麟德说的加速器，就是孝感高地石墨烯企业加速器有限公司。

2019年，天使投资人严祥军带着石墨烯项目和技术，与高新区进行项目合作洽谈。双方一拍即合，高新区决定给予该项目实质性支持——由孝感市高创投资有限公司成立全资子公司，即孝感高地石墨烯企业加速器公司，代为建设孝感石墨烯产业创新加速器项目。项目分三期建设机械加工、光学器件加工、电子系统装配三大模块，设备总投资2000万元左右。

“这个加速器项目，最初就是为解决石墨烯粉体制备产业所需的非标核心零件、部件和装备研制、试制及小批量试产需求，为颠覆式创新技术项目产业化提供加速服务。”严祥军说。

显然，加速器公司的设备利用率比一般的产业项目设备低很多，但它提供的非标器件研制能力，将大大缩短颠覆式创新技术转化的周期。

严祥军算了一笔账，“以这套等离子体炉系统为例，一个单源的原型机，因为零部件反复外协加工，最终耗时达3年之久。在加速器的支持下，团队仅用6个月不到的时间就完成了从设计到制造装配的全过程，而这套系统相对原型机，复杂性至少是数十倍。”加速器项目的落地、成长，并不是偶然，表面耦合诱导——二级放大等离子体炉系统成功点火也不是偶然，其背后，正是高新区践行创新发展的底色。

目前，在市高新区的大力支持下，加速器公司已从单一的石墨烯领域扩充到石墨烯粉体材料制备及产业化、表面耦合诱导等离子体源技术及产业化、高熵玻璃制备及产业化、蚌线技术装备产业化四大颠覆式创新技术集群。据了解，市高新区将围绕创新链布局产业链，推进三江集团、华中光电等军工企业及石墨烯加速器创新成果转化和产业化。推动科研场所、检测设备等共建共享共用，设立种子基金，加速技术交易、转让、转化。建立健全科技创新投入激励机制，及时兑现科技创新激励政策，让科技成为高质量发展的新动能。