AMO 扩展其纳米加工能力

AMO 主任 Max Lemme 教授说:”新的 ALD 工具将帮助 AMO 和亚琛石墨烯与二维材料中心将二维材料研究推向市场。事实上,ALD 工具将被集成到石墨烯旗舰项目的二维实验中试线中,这是一个重大项目,其目标是展示如何以符合工业标准的方式制造基于二维材料的电子设备。”

10 月 2 日,AMO 收到了牛津仪器公司(Oxford Instruments)运来的用于原子层沉积(ALD)的新型 200 毫米工具,正好赶上二维实验生产线(2D-EPL)的启动。 此次采购得益于北莱茵威斯特法伦州经济、创新、数字化和能源部(MWIDE)的财政支持。

AMO 扩展其纳米加工能力

在 AMO 交付新的 ALD 工具。

AMO 主任 Max Lemme 教授说:”新的 ALD 工具将帮助 AMO 和亚琛石墨烯与二维材料中心将二维材料研究推向市场。事实上,ALD 工具将被集成到石墨烯旗舰项目的二维实验中试线中,这是一个重大项目,其目标是展示如何以符合工业标准的方式制造基于二维材料的电子设备。”

“二维材料具有巨大的创新潜力”,莱姆说。”二维材料的独特性能可以成为高科技领域全新的、颠覆性的长期发展方向的基础。整整十年前,安德烈-盖姆(Andre Geim)爵士和科斯坦廷-诺沃肖洛夫(Kostantin Novoselov)爵士因发现石墨烯–第一种也是最杰出的二维材料–而获得诺贝尔奖。从那时起,石墨烯领域取得了巨大的发展,现在是弥合基于二维材料的电子设备的实验室规模制造和大批量生产之间的差距的时候了。对于欧洲和莱茵地区来说,这是一个在微电子领域利用二维材料特性的绝佳机会。 我们非常感谢 MWIDE 在这项工作中给予的支持”。

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