二维实验中试线（2D-EPL）处于起步阶段

弥合基于二维材料的电子设备从实验室规模制造到大批量生产之间的差距–这就是二维实验中试线（2D-EPL）的使命，该项目由欧盟委员会在 H2020 计划内出资 2000 万欧元。项目启动会议计划于 2020 年 10 月 8 日举行。

2019年，欧盟委员会邀请石墨烯旗舰项目为基于石墨烯的电子、光电和传感器实验中试线制定计划–这是首个实验性生产设施，欧洲企业、研究中心和学术机构可在此中试生产基于二维（2D）材料的新型设备。

集成二维材料的晶片。图片：imec

这项雄心勃勃的事业旨在展示如何以一种对市场应用有意义的方式制造和扩大基于二维材料的设备的生产规模。这是石墨烯技术转入全面生产之前的关键一步，从某种意义上说，也是对石墨烯能否兑现其电子应用 “神奇材料 “承诺的终极考验。

石墨烯旗舰项目提议成立一个由欧洲主要企业组成的联合体，涵盖整个价值链，包括工具制造商、化学品和材料供应商以及半导体制造生产线：Aixtron Ltd. 和 Oxford Instruments（英国）、imec（比利时）、AMO GmbH、iHP GmbH、Micro Resist Technology GmbH、Aixtron SA 和 Suss Microtech（德国）、Graphenea（西班牙）和 VTT（芬兰）。该项目名为二维实验中试线（2D-EPL），将于 2020 年 10 月 8 日举行在线启动会议。

“二维材料在电子和光子设备以及传感器方面具有独特的性能”，imec 公司探索性材料和模块集成项目经理兼 2D-EPL 项目技术负责人 Cedric Huyghebaert 说。”现在有很多出版物展示了基于二维材料的设备原型，其性能大大超过了最先进的水平。但是，为了将这些设备推向市场，我们需要开发工具包和设计手册，以便制造出符合半导体行业标准的设备”。

中试线将能够在具有制造代表性的环境中为电子、光子和传感器应用的新设备制作原型。时间表雄心勃勃：基准流程需要在两年内到位。实验性中试线的工作流程和协议应在 2024 年之前全面运作。工艺流程将在欧洲各地最先进的洁净室环境中进行验证，包括 AMO 和 iHP（德国）、imec（比利时）和 VTT（芬兰）。

为了帮助建立一个覆盖整个价值链的欧洲二维材料生态系统，二维-EPL 将向活跃在二维材料领域的整个研发界开放，利用用户和服务提供商之间的成本分担模式。其目标是为欧洲和国外的研究与创新参与者提供可持续的按需服务，并将其纳入 EUROPRACTICE 框架。

石墨烯旗舰项目主任亚里-基纳雷特（Jari Kinaret）说：”2D-EPL真正凸显了欧盟委员会如何通过像石墨烯旗舰项目这样的项目对欧洲的研究、开发和产业产生影响。”我们发现了一个挑战–提升石墨烯电子产品的生产规模–欧盟委员会听到了我们的声音，找到了应对这一挑战的资金。”

2D-EPL 项目可以依靠瑞典查尔姆斯理工大学（Chalmers University of Technology）石墨烯旗舰团队的专业知识来提供行政管理、业务开发和推广支持。技术和科学管理由 imec（比利时）领导，并由一个核心技术指导小组提供支持，该小组由来自试验线集成地点的主要研究人员组成。此外，该项目还得到了工业咨询委员会的指导，该委员会由欧洲半导体行业的主要企业组成，如 AMS、英飞凌和 Emberion。委员会将随时了解 2D-EPL 项目的进展情况和开发的解决方案，还将就行业要求和规格、市场分析和项目的早期机遇提供反馈意见。

先导线以石墨烯旗舰项目合作伙伴的现有活动为基础，与石墨烯核心 3 项目密切相关。不过，它的活动与旗舰项目其他部分的活动相辅相成，也有新的参与者参与其中。新的 2D-EPL 项目的重点和组织形式与旗舰项目不同，与欧洲现有的其他试验项目密切相关。

AMO 主任兼亚琛工业大学教授 Max Lemme 教授说：”我们非常高兴能参与 2D-EPL 项目。 “我坚信，基于二维材料的电子技术可以成为欧洲在高科技领域获得份额的载体。2019年，亚琛工业大学获得了BMBF的900万欧元资助，用于建立一个新的二维微电子研究实验室，名为2D-ForMe（微电子二维材料）。凭借 2D-EPL 和 Aixtron 等本地公司，亚琛地区可以在展示二维材料的真正技术潜力方面发挥重要作用”。

2D-EPL 项目由欧盟地平线 2020 研究与创新计划资助，资助协议编号为 952792。