欧洲正在开发首条2D 材料实验性试点生产线

中国航空报讯：欧盟委员会邀请了一批石墨烯旗舰计划的合作伙伴和相关成员，共同建立实验性试点生产线，以将石墨烯和相关的层状材料（GRM）集成到半导体平台中。该项目的最终目标是在欧洲建立一个覆盖全价值链的生态系统，从生产工具制造商、化学品及材料供应商到建立试点生产线。这一合作项目将为最终成为制造集成GRM的新型电子、光子和传感器的原型产品的基础。2D实验性试点生产线（2D-EPL）将为公司、研究机构和学术机构提供原型设计服务，帮助它们在已建立的制造平台中用2D材料开发各自的创新技术。

2D-EPL项目的技术负责人、比利时微电子研究中心（IMEC） 探索性材料和模块集成项目经理Cedric Huyghebaert表示，通过开发用于制造和加工GRM的欧洲试点生产线，欧盟委员会的目标是将新材料成功地从学术实验室阶段引入半导体生产线，使其与行业标准兼容。此外，该实验性试点生产线还将尽早向欧洲的GRM专业创新机构开放，试点生产线将帮助它们验证基于GRM的创新生产设备如何制造和扩大规模。

2D-EPL项目将依托瑞典查尔默斯理工大学“石墨烯旗舰”团队的专业知识进行行政管理。技术和科学管理工作将由比利时的IMEC领导，此外，一个核心技术指导小组将提供支持，该小组的成员由来自集成化试点生产线的主要调研人员组成。一个由欧洲半导体工业主要成员组成的工业咨询委员会将对该项目进行概述。石墨烯旗舰计划董事会将不断获悉2D-EPL项目的进度和开发解决方案，同时还会向业界提供有关的市场分析和项目前期需求反馈。

2D-EPL项目将在已建立的半导体平台上开发集成GRM所需的工具、化学品和材料。这一生态系统将在整个欧洲最先进洁净室环境中得到验证，其中包括来自德国的AMO和iHP、芬兰的VTT和比利时的IMEC。在完成这一阶段测试验证后，项目将进行模块开发——基于GRM的技术完成制造光电子、光子和电子等器件的基本构件模块。这些模块将以多用途晶圆的形式向欧洲用户公开提供。这种策略将确保技术广泛可用，并能更好地控制成本。

2D-EPL项目的最终目标是与石墨烯器件计划中欧洲领先的合作伙伴（包括中小型企业、大型工业企业、研究机构和学术研究伙伴等） 紧密合作，创建验证生产线并实现基于GRM创新技术和传统半导体集成产品的小批量生产。

参与2D-EPL这一具有挑战性项目的众多合作伙伴，同时也是石墨烯旗舰计划的积极参与者，该计划是欧盟委员会资助的最大的研究计划之一。2D-EPL将与石墨烯旗舰计划Core 3项目共同进行，以全面了解GRM的基本原理并探索将这种材料推向市场的方法。2D-EPL将与石墨烯旗舰计划的先锋项目紧密结合在一起，领导使用GRM的演示验证件的生产工作，其中一部分已经在开发过程中。

2D-EPL合作伙伴在石墨烯旗舰计划的研究小组最前沿发挥着重要的领导作用。此外，2D-EPL还在寻求其他成员加入该项目，以引入石墨烯旗舰计划框架中所缺少的专业知识。所有新的合作者也将同时加入石墨烯旗舰计划联盟。

2D-EPL与石墨烯旗舰核心项目之间的合作将是至关重要的，因为在石墨烯旗舰计划核心项目中， 正在开发中的试点生产线将支持大量潜在应用。尽管如此，2D-EPL项目的重点和组织方式完全不同， 其目标是建立长期研究计划，以此克服公共资助项目的“窗口挑战”。2D-EPL将为欧洲及其他地区研究与创新机构提供可持续性的服务平台。

目前，该项目已获得欧盟“地平线2020”研究与创新计划的资助。